KTP-H4503系列采用高可靠性磁悬浮结构设计，具备优异的大流量抽速能力与快速升降速性能，可满足CVD、ALD、Etch、离子注入及PVD等高负载工艺环境需求。
产品支持一体式与分体式结构配置，适用于不同工艺设备及复杂安装环境，可提升系统集成灵活性与长期运行稳定性。
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面向先进半导体制造的高流量磁悬浮真空解决方案
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-H4503 | |
| 法兰尺寸 | 进气端 | VG350 |
| 出气端 | KF40/KF50 | |
| 吹扫口 | KF10 | |
| 冷却水接口 | 上：Rc1/4 下：8mm卡套 | |
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额定转速（r/min） |
24000 | |
| 抽速（L/s） | N2 | 4400 |
| He | 3900 | |
| Ar | 4200 | |
| 压缩比 | N2 |
1.0x1010 |
| He |
1.0x105 |
|
| Ar |
1.0x1010 |
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| 极限压强 (Pa) | 1.0x10-7 | |
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最大入口压力（Pa） |
50 | |
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最大出口压力（Pa） |
370 | |
| 跌落转速 (r/min) | 4800 | |
| 额定功率 (W) | 2000 | |
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启动压力（Pa） |
2000 | |
| 升速时间 (min) | ＜12 | |
| 降速时间 (min) | ＜14 | |
| 安装角度 (°) | 任意角度 | |
| 冷却方式 | 水冷 | |
| 振动 (㎛) | ＜0.01 | |
| 噪声 (dB) | ＜57 | |
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控制器类型 |
分体式/一体式 | |
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控制线长度（m） |
任意可选 | |
| 质量(kg) | 110/154 | |
