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国产全磁悬浮90L/s分子泵
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-90 | |
| 法兰尺寸 | 进气端 | ISO63/KF40/CF63 |
| 出气端 | KF10 | |
| 抽速 | N2 | 90 |
| He | 80 | |
| Ar | 90 | |
| 压缩比 | N2 | 3.0x108 |
| He | 8.0x103 | |
| Ar | 6.0x1010 | |
| 极限压强 (Pa) | 1.0x10-6 | |
| 额定转速 (r/min) | 90000 | |
| 跌落转速 (r/min) | 14000 | |
| 升速时间 (min) | <5 | |
| 降速时间 (min) | <5 | |
| 安装角度 (°) | 任意角度安装 | |
| 冷却方式 | 风冷 | |
| 振动 (㎛) | 0.01 | |
| 噪声 (dB) | 50 | |
| 质量(kg) | 3.8 | |
| 推荐前级泵抽速（L/s） | 3-10 | |
