国产全磁悬浮90L/s分子泵
产品介绍
      磁悬浮涡轮分子泵主要用于获得高真空环境,现代高科技产品的制造过程、科学研究和工业领域应用都需要真空环境。KTP-80磁悬浮分子泵采用全主动磁悬浮技术,具有小体积、无油、微振动、任意角度安装的特点,转速高达 90,000 r/min,可产生低于 10-6 Pa的真空环境,主要应用于高分辨率质谱仪、检漏仪以及半导体行业。

产品特点


产品参数表
分子泵型号 KTP-90
法兰尺寸 进气端 ISO63/KF40/CF63
出气端 KF10
抽速(L/s) N2 90
He 80
Ar 90
压缩比 N2 3.0x108
He 8.0x103
Ar 6.0x1010
极限压强 (Pa) 1.0x10-6
额定转速 (r/min) 90000
跌落转速 (r/min) 14000
升速时间 (min) <5
降速时间 (min) <5
安装角度 (°) 任意角度安装
冷却方式 风冷
振动 (㎛) 0.01
噪声 (dB) 50
质量(kg) 3.8
推荐前级泵抽速(L/s) 3-10

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