KTP-H4503系列采用高可靠性磁悬浮结构设计，具备优异的大流量抽速能力与快速升降速性能，可满足CVD、ALD、Etch、离子注入及PVD等高负载工艺环境需求。
产品支持一体式与分体式结构配置，适用于不同工艺设备及复杂安装环境，可提升系统集成灵活性与长期运行稳定性。
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面向先进半导体制造的高流量磁悬浮真空解决方案
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-H4503 | KTP-iH4503 | |
| 法兰尺寸 | 进气端 | VG350 | |
| 出气端 | KF40/KF50 | ||
| 吹扫口 | KF10 | ||
| 冷却水接口 | RC1/4 | ||
|
额定转速（r/min） |
24000 | ||
| 抽速（L/s） | N2 | 4400 | |
| He | 3900 | ||
| Ar |
4200 |
||
| 压缩比 | N2 | 1.0x1010 | |
| He | 1.0x105 | ||
| Ar | 1.0x1010 | ||
| 极限压强 (Pa) | 1.0x10-7 | ||
|
最大入口压力（Pa） |
50 | ||
|
最大出口压力（Pa） |
370 | ||
| 跌落转速 (r/min) | 4800 | ||
| 额定功率 (W) | 2000 | ||
|
启动压力（Pa） |
2000 | ||
| 升速时间 (min) | ＜12 | ||
| 降速时间 (min) | ＜14 | ||
| 安装角度 (°) | 任意角度 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | ||
| 振动 (㎛) | ＜0.01 | ||
| 噪声 (dB) | ＜57 | ||
|
控制器类型 |
分体式 | 一体式 | |
|
控制线长度（m） |
任意可选 | ||
| 质量(kg) | 107 | 151 | |
