KTP-iR240系列采用全磁浮无接触运行设计，具备低振动、快速降速及高稳定性控制能力，适用于EUV光刻、量测、分子束外延及先进封装等高精度真空工艺环境。
产品支持长时间稳定运行，可满足先进制造设备对洁净度与可靠性的要求。
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适用于高洁净半导体工艺的高稳定性磁悬浮真空方案
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-iR240 | |
| 法兰尺寸 | 进气端 | ISO100/CF100 |
| 出气端 | KF25/KF16 | |
|
额定转速(r/min) |
6000 | |
| 抽速（L/s） | N2 | 249 |
| He | 226 | |
| Ar | 300 | |
| 压缩比 | N2 | 1.9x1010 |
| He | 2.0x105 | |
| Ar | 2.1x1010 | |
| 极限压强 (Pa) | 2.0x10-7 | |
| 最大入口压力（Pa） | 0.5 | |
|
最大出口压力（Pa） |
120 | |
| 跌落转速 (rpm) | 10000 | |
| 额定功率（W） | 240 | |
| 启动压力（Pa） | 2000 | |
| 升速时间 (min) | <5 | |
| 降速时间 (min) | <7 | |
| 安装角度 (°) | 任意角度 | |
| 冷却方式 | 自然冷却/风冷 | |
| 振动 (㎛) | ＜0.007 | |
| 噪声 (dB) | ＜53 | |
| 控制器类型 | 一体式 | |
| 控制线长度 | 任意可选 | |
| 质量(kg) | 11 | |
| 推荐前级泵抽速（L/s） | 3-10 | |
