KTP-H3803系列采用高可靠性磁悬浮结构设计，具备优异的大流量抽速性能、高压缩比及快速升降速能力，可满足CVD、ALD、Etch、离子注入及PVD等高负载真空工艺环境需求。
产品提供一体式与分体式两种结构方案，可根据不同设备空间布局及系统集成需求灵活适配，兼顾高稳定性运行与设备集成效率。
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适用于高负载半导体工艺的高稳定性真空方案
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-H3803 | |
| 法兰尺寸 | 进气端 | ISO320/VG300 |
| 出气端 | KF40/KF50 | |
| 吹扫口 | KF10 | |
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冷却水接口 |
上：RC1/4 下：8mm卡套 | |
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额定转速（r/min） |
24000 | |
| 抽速（L/s） | N2 | 4000 |
| He | 3500 | |
| Ar | 3600 | |
| 压缩比 | N2 | 1.0×1010 |
| He | 1.0×105 | |
| Ar | 1.0x1010 | |
| 极限压强 (Pa) | 1.0x10-7 | |
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最大入口压力（Pa） |
50 | |
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最大出口压力（Pa） |
370 | |
| 跌落转速 (r/min) | 4800 | |
| 额定功率 (W) | 2000 | |
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启动压力（Pa） |
2000 | |
| 升速时间 (min) | ＜14 | |
| 降速时间 (min) | ＜18 | |
| 安装角度 (°) | 任意角度 | |
| 冷却方式 | 水冷 | |
| 振动 (㎛) | 0.01 | |
| 噪声 (dB) | ＜57 | |
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控制器类型 |
分体式/一体式 | |
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控制线长度（m） |
任意可选 | |
| 质量(kg) | 110/154 | |
