KTP-H3803系列采用高可靠性磁悬浮结构设计，具备优异的大流量抽速性能、高压缩比及快速升降速能力，可满足CVD、ALD、Etch、离子注入及PVD等高负载真空工艺环境需求。
产品提供一体式与分体式两种结构方案，可根据不同设备空间布局及系统集成需求灵活适配，兼顾高稳定性运行与设备集成效率。
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适用于高负载半导体工艺的高稳定性真空方案
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-H3803 | KTP-iH3803 | |||
| 法兰尺寸 | 进气端 | ISO320 | VG300 | ISO320 | VG300 |
| 出气端 | KF40/KF50 | ||||
| 吹扫口 | KF10 | ||||
| 冷却水接口 | RC1/4 | ||||
| 额定转速（r/min） | 24000 | ||||
| 抽速（L/s） | N2 | 4000 | |||
| He | 3500 | ||||
| Ar | 3600 | ||||
| 压缩比 | N2 | 3.0x1010 | |||
| He | 2.0x105 | ||||
| Ar | 2.0x1010 | ||||
| 极限压强 (Pa) | 1.0x10-7 | ||||
| 最大入口压力（Pa） | 50 | ||||
| 最大出口压力（Pa） | 370 | ||||
| 跌落转速 (r/min) | 4800 | ||||
| 额定功率 (W) | 2000 | ||||
| 启动压力（Pa） | 2000 | ||||
| 升速时间 (min) | ＜12 | ||||
| 降速时间 (min) | ＜14 | ||||
| 安装角度 (°) | 任意角度 | ||||
| 冷却方式 | 水冷 | ||||
| 振动 (㎛) | ＜0.01 | ||||
| 噪声 (dB) | ＜57 | ||||
| 控制器类型 | 分体式 | 一体式 | |||
| 控制线长度（m） | 任意可选 | ||||
| 质量(kg) | 110 | 108 | 154 | 152 | |
