KTP-H2811针对高温工艺环境优化设计，具备更高副产物耐受能力与高稳定性运行性能，可满足复杂半导体工艺场景需求。
首页 - 产品介绍
适用于高温工艺环境的高稳定性真空解决方案
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-H2811 | |
| 法兰尺寸 | 进气端 | ISO250B |
| 出气端 | KF40 | |
| 吹扫口 | KF10 | |
| 冷却水接口 | RC1/4 | |
|
额定转速（r/min） |
27600 | |
| 抽速（L/s） | N2 | 2200 |
| He | 2470 | |
| Ar | 2100 | |
| 压缩比 | N2 | 1.0×109 |
| He | 1.0×105 | |
| Ar | 1.0x109 | |
| 极限压强 (Pa) | 1.0×10-7 | |
|
最大入口压力（Pa） |
40 | |
|
最大出口压力（Pa） |
350 | |
| 跌落转速 (r/min) | 4800 | |
| 额定功率 (W) | 2600 | |
|
启动压力（Pa） |
2000 | |
| 升速时间 (min) | ＜12 | |
| 降速时间 (min) | ＜16 | |
| 加热温度（℃） | 60 | |
| 安装角度 (°) | 任意角度 | |
| 冷却方式 | 水冷 | |
| 振动 (㎛) | 0.01 | |
| 噪声 (dB) | ＜57 | |
|
控制器类型 |
分体式 | |
|
控制线长度（m） |
任意可选 | |
| 质量(kg) | 84 | |
