KTP-H3301系列采用轻量化紧凑结构设计，具备高抽速性能与优异空间适配能力，适用于CVD、ALD、离子注入及PVD等先进半导体真空工艺环境。
产品在保证高稳定性运行的同时，可提升设备集成效率与安装灵活性。
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适用于高流量工艺环境的高可靠性真空方案
产品介绍
产品特点
产品参数表
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分子泵型号 |
KTP-H2801 |
KTP-H3301 |
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法兰尺寸 |
进气端 |
ISO250 |
VG250 |
VG300/VG350/ISO320 |
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出气端 |
KF40 |
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吹扫口 |
KF10 |
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冷却水接口 |
RC1/4 |
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额定转速（r/min） |
27600 |
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抽速（L/s） |
N2 |
2550 |
2800 |
3200 |
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He |
2670 |
2850 |
3100 |
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Ar |
2350 |
2720 |
3100 |
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压缩比 |
N2 |
1.0x109 |
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He |
1.0x105 |
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Ar |
1.0x109 |
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极限压强(Pa) |
1.0x10-7 |
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最大入口压力（Pa） |
40 |
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最大出口压力（Pa） |
350 |
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跌落转速(r/min) |
4800 |
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额定功率(W) |
1500 |
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启动压力（Pa） |
2000 |
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升速时间(min) |
＜12 |
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降速时间(min) |
＜16 |
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安装角度(°) |
任意角度 |
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冷却方式 |
水冷 |
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振动(㎛) |
0.01 |
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噪声(dB) |
＜60 |
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控制器类型 |
分体式 |
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控制线长度（m） |
任意可选 |
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质量(kg) |
76 |
80 |
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