首款国产4500L/s抽速磁悬浮分子泵
产品介绍
      KTP-4500型分子泵是一种磁悬浮复合分子泵,叶轮由涡轮级与牵引级构成,分子泵中的动片与静片在轴向交替对齐,气体分子被高速旋转的涡轮排出后由前级泵抽走,获得洁净的高真空环境,主要用于半导体生产中镀膜、刻蚀与离子注入工艺过程。

产品特点


产品参数表
参数 典型值
法兰(进气端) VG350/ISO320B/VG300
法兰(出气端) KF 40
对氮气抽速 4300/4000/3800 L/s
对氮气压缩比 2.0×108
极限压强 1.0×10-7 Pa
额定转速 24000 rpm
跌落转速 5000 rpm
启动时间 <15 min
降速时间 <25 min
通讯方式 Ethercat/RS-485/RS-232/IO
加热温度 <70 ℃
温度管理 可选
安装角度 任意角度
冷却方式 水冷
振动 0.01 μm
噪声 <60 dB
输入电压 220V AC~240V AC
最大功率 2000 W
质量 92 kg

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