KTP-H455系列采用磁悬浮无接触运行技术，具备高抽速、低振动及快速升降速能力，适用于Transfer、科研、离子注入、PVD及ALD等真空工艺环境。
产品采用高可靠性结构设计，可满足长时间稳定运行需求。
首页 - 产品介绍
适用于科研与半导体工艺的高稳定性真空方案
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-H455系列磁悬浮分子泵 | ||
| 法兰尺寸 | 进气端 | CF160 | |
| 出气端 | KF40 | ||
| 吹扫口 | KF10/KF16 | ||
| 冷却水接口 | 任意可选 | ||
| 额定转速（r/min） | 48000（允许转速范围24000-48000） | ||
| 抽速（L/s） | N2 | 450 | |
| He | 350 | ||
| Ar | 400 | ||
| H2 | 300 | ||
| 压缩比 | N2 | 3.5×107 | |
| He | 1.3×103 | ||
| Ar | 1.06×108 | ||
| 极限压强 (Pa) | ≤4×10-7 | ||
| 最大入口压力（Pa） | 480 | ||
| 最大出口压力（Pa） | 480 | ||
| 跌落转速 (r/min) | 14000 | ||
| 额定功率 (W) | 650 | ||
| 启动压力（Pa） | 1100 | ||
| 升速时间 (min) | ＜4 | ||
| 降速时间 (min) | ＜5 | ||
| 加热温度（℃） | / | ||
| 安装角度 (°) | 任意角度 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | ||
| 冷却水流量要求（L/min） | 3 | ||
| 冷却水压力要求 MPa（kgf/cm2） | 0.3（3） | ||
| 冷却水温度要求（℃） | 18-25 | ||
| 吹扫氮气流量要求（mL/min） | 30 | ||
| 振动 (㎛) | ＜0.01 | ||
| 噪声 (dB) | ＜60 | ||
| 控制器类型 | 分体式 | ||
| 控制线长度 | 任意可选 | ||
| 质量(kg) | / | ||
