KTP-H3301系列采用轻量化紧凑结构设计，具备高抽速性能与优异空间适配能力，适用于CVD、ALD、离子注入及PVD等先进半导体真空工艺环境。
产品在保证高稳定性运行的同时，可提升设备集成效率与安装灵活性。
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适用于高流量工艺环境的高可靠性真空方案
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-H2801 | KTP-H3301 | ||
| 法兰尺寸 | 进气端 | ISO250 | VG250 | VG300/ISO320/VG350 |
| 出气端 | KF40 | |||
| 吹扫口 | KF10 | |||
| 冷却水接口 | RC1/4 | |||
| 额定转速（r/min） | 27600 | |||
| 抽速（L/s） | N2 | 2550 | 2800 | 3200 |
| He | 2670 | 2850 | 3100 | |
| Ar | 2350 | 2720 | 3100 | |
| 压缩比 | N2 | 1.0x109 | ||
| He | 1.0x105 | |||
| Ar | 1.0x109 | |||
| 极限压强 (Pa) | 1.0x10-7 | |||
| 最大入口压力（Pa） | 40 | |||
| 最大出口压力（Pa） | 350 | |||
| 跌落转速 (r/min) | 4800 | |||
| 额定功率 (W) | 1500 | |||
| 启动压力（Pa） | 2000 | |||
| 升速时间 (min) | ＜12 | |||
| 降速时间 (min) | ＜16 | |||
| 安装角度 (°) | 任意角度 | |||
| 冷却方式 | 水冷 | |||
| 振动 (㎛) | ＜0.01 | |||
| 噪声 (dB) | ＜60 | |||
| 控制器类型 | 分体式 | |||
| 控制线长度（m） | 任意可选 | |||
| 质量(kg) | 76 | 80 | ||
