国产3803/4503L/s抽速磁悬浮分子泵
产品介绍
      KTP-4500型分子泵是一种磁悬浮复合分子泵,叶轮由涡轮级与牵引级构成,分子泵中的动片与静片在轴向交替对齐,气体分子被高速旋转的涡轮排出后由前级泵抽走,获得洁净的高真空环境,主要用于半导体生产中镀膜、刻蚀与离子注入工艺过程。

产品特点


产品参数表
分子泵型号KTP-3800KTP-4500
法兰尺寸进气端ISO320B/VG300VG350
出气端KF40/KF50
吹扫口KF10
额定转速(r/min)
24000
抽速

N2

40004400
He35003900
Ar36004200
压缩比

N2

1.0x1010 
He1.0x105 
Ar1.0x1010 
极限真空 (Pa)10-7 
最大入口压力(Pa)
50
最大出口压力(Pa)
370
跌落转速 (r/min)4800
额定功率 (W)1500/2000
启动压力(Pa)
2000
升速时间 (min)<14
降速时间 (min)<18
安装角度 (°)任意角度安装
冷却方式水冷
振动 (㎛)0.01
噪声 (dB)<57
控制器类型
分体式/一体式
控制线长度
分体式任意可选
质量 (kg)110/140


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