国产3803/4503L/s抽速磁悬浮分子泵
产品介绍
      KTP-4500型分子泵是一种磁悬浮复合分子泵,叶轮由涡轮级与牵引级构成,分子泵中的动片与静片在轴向交替对齐,气体分子被高速旋转的涡轮排出后由前级泵抽走,获得洁净的高真空环境,主要用于半导体生产中镀膜、刻蚀与离子注入工艺过程。

产品特点


产品参数表
分子泵型号 KTP-3800 KTP-4500
法兰尺寸 进气端 ISO320B/VG300 VG350
出气端 KF40/KF50
吹扫口 KF10
额定转速(r/min)
24000
抽速(L/s)

N2

4000 4400
He 3500 3900
Ar 3600
4200
压缩比

N2

1.0x1010
He 1.0x105
Ar 1.0x1010
极限真空 (Pa) 10-7
最大入口压力(Pa)
50
最大出口压力(Pa)
370
跌落转速 (r/min) 4800
额定功率 (W) 1500/2000
启动压力(Pa)
2000
升速时间 (min) <14
降速时间 (min) <18
安装角度 (°) 任意角度安装
冷却方式 水冷
振动 (㎛) 0.01
噪声 (dB) <57
控制器类型
分体式/一体式
控制线长度
分体式任意可选
质量 (kg) 110/140


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流量统计代码